| ST-21L型方塊電阻測(cè)試儀是一種依照類似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)，專門測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器，可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜)，金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。 |
| 該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心；用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源；帶回路有效正常指示電路；并配以大型LCD顯示讀數(shù)，使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。 |
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| ◆ 特點(diǎn)： |
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1 | 采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分，測(cè)量準(zhǔn)確穩(wěn)定，低功耗； | 2 | 以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰； | 3 | 采用單個(gè)電池供電，帶電池欠壓指示； | 4 | 體積≤175mm X90mm X42mm，重量≤300g； | 5 | 特制之手握式探筆，球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜 | 6 | 探頭帶抗靜電模塊 |
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| ◆ 技術(shù)指標(biāo)： |
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測(cè)量范圍 | 按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔：
1.方塊電阻 1.000～19.999Ω/□；
2.方塊電阻 10.00～199.99Ω/□；
z小分辨率：0.001Ω/□ | 恒流源 | 測(cè)量過(guò)程誤差：≤±0.8% | 模數(shù)轉(zhuǎn)換器 | 量程：0～199.99mv；
分辨率：10μv；
方式：LCD大屏幕顯示；極性，超量程均自動(dòng)顯示；小數(shù)點(diǎn)同步顯示； | 測(cè)量不確定度 | 在整個(gè)量程范圍內(nèi)，測(cè)量不確定度≤5% | 四探針探頭規(guī)格 | 間距：1mm、1.59mm、3.8mm；偏差≤2%；游移率≤0.3%；絕緣電阻≥500MΩ | 電源 | 使用一節(jié)450mAH的鋰電池 |
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| ◆ ST-21L方塊電阻測(cè)試儀可選配HP系列四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格： |
型號(hào)
(Model) | 曲率半徑
(Radius) | 壓力
(loads) | 探針間距
(spacing) | 探針排列
(Arrangement) | HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直線 | HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直線 | HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直線 | HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直線 |
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| ◆ ST-21L方塊電阻測(cè)試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格： |
型號(hào)
(Model) | 曲率半徑
(Radius) | 壓力
(loads) | 探針間距
(spacing) | 探針排列
(Arrangement) | SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
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